2010版GMP规定洁净室洁净度各级别－悬浮粒子数
洁净度级别 | 悬浮粒子最大允许数/立方米 | |||
静态 | 动态 | |||
≥0.5µm | ≥5.0µm | ≥0.5µm | ≥5.0µm | |
A级 | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B级 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C级 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D级 | 3520000 | 29000 | 不作规定 | 不作规定 |
ISO Classification Number(N) | 粒 径 Particles Size (µm) | |||||
0.1µm | 0.2µm | 0.3µm | 0.5µm | 1.0µm | 5.0µm | |
ISO Class1 | 10个/m3 | 2个/m3 | ||||
ISO Class2 | 100个/m3 | 24个/m3 | 10个/m3 | 4个/m3 | ||
ISO Class3 | 1000个/m3 | 237个/m3 | 102个/m3 | 35个/m3 | 8个/m3 | |
ISO Class4 | 10000个/m3 | 2370个/m3 | 1020个/m3 | 352个/m3 | 83个/m3 | |
ISO Class5 | 100000个/m3 | 23700个/m3 | 10200个/m3 | 3520个/m3 | 832个/m3 | 29个/m3 |
ISO Class6 | 1000000个/m3 | 23700个/m3 | 102000个/m3 | 35200个/m3 | 8320个/m3 | 293个/m3 |
ISO Class7 | － | － | － | 352000个/m3 | 83200个/m3 | 2930个/m3 |
ISO Class8 | － | － | － | 3520000个/m3 | 832000个/m3 | 29300个/m3 |
ISO Class9 | － | － | － | 35200000个/m3 | 8320000个/m3 | 293000个/m3 |
洁净度级别 Clean Class | 粒 径 Particles Size (µm) | ||||
0.1µm | 0.2µm | 0.3µm | 0.5µm | 5.0µm | |
1 | 35.0个/ft3 | 7.50个/ft3 | 3.00个/ft3 | 1个/ft3 | |
10 | 350个/ft3 | 75个/ft3 | 30.0个/ft3 | 10个/ft3 | |
100 | - | 750个/ft3 | 300个/ft3 | 100个/ft3 | |
1000 | - | － | － | 1000个/ft3 | 7个/ft3 |
10000 | - | － | － | 10000个/ft3 | 70个/ft3 |
100000 | - | － | － | 100000个/ft3 | 700个/ft3 |
